[发明专利]一种薄膜检测装置和方法在审
| 申请号： | 201310618148.7 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN104677299A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 周钰颖;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/21;G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜检测装置，其特征在于，包括：光源，用于提供包含不同波段的照明光束；光学元件单元，包括物镜，该光学元件单元用于将照明光束通过该物镜照射到待测对象上，并收集该待测对象的反射光束；滤波器，用于使不同波段的照明光束或反射光束在空间上进行分离；面阵探测器，位于该物镜瞳面或者物镜瞳面的共轭面以采集反射光束的角谱信息；处理器，用于对该角谱信息进行分析计算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜检测装置，其特征在于，包括： 光源，用于提供包含不同波段的照明光束； 光学元件单元，包括物镜，所述光学元件单元用于将照明光束通过所述物镜照射到待测对象上，并收集所述待测对象的反射光束； 滤波器，用于使不同波段的照明光束或反射光束在空间上进行分离； 面阵探测器，位于所述物镜瞳面或者物镜瞳面的共轭面以采集反射光束的角谱信息； 处理器，用于对所述角谱信息进行分析计算。
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