[发明专利]一种减小太阳能多晶硅片切割厚度的方法在审

专利信息
申请号: 201310624157.7 申请日: 2013-11-28
公开(公告)号: CN103692564A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 王德明;杨方;谈军;王庆峰;陈远峰 申请(专利权)人: 国电兆晶光电科技江苏有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种减小太阳能多晶硅片切割厚度的方法,采用小直径异形切割钢线,改进导线槽的结构,使之能对切割钢线进行冷却,缩小导线槽的槽间距、砂浆中碳化硅颗粒为粒径在8.2-8.6微米的多棱体,通过这三种技术方案的配套使用来降低太阳能硅片的厚度。这种切割方法既能降低硅片厚度,又能提高硅片加工精度,能大幅度提高得片率,虽切割钢线直径小,但不断裂,切割效率高,切割缝隙小,砂浆用量少,能减少硅棒切割损耗,提高出片率,可降低生产成本,经济效益十分显著。
搜索关键词: 一种 减小 太阳能 多晶 硅片 切割 厚度 方法
【主权项】:
一种减小太阳能多晶硅片切割厚度的方法,其特征是:切割钢线采用直径为110~115微米的异形切割钢线(1),在所述异形切割钢线(1)的外表面上设有非圆凹槽(11),导轮(2)上导轮槽(21)的槽间距为320~330微米、砂浆中碳化硅颗粒采用粒径为8.2‑8.6微米的多棱体,所述导轮槽(21)的横截面形状为等腰梯形或正三角形,在导轮槽(21)的两侧面上沿周向设有溢浆槽(22)。
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