[发明专利]区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置有效
申请号: | 201310626975.0 | 申请日: | 2013-11-28 |
公开(公告)号: | CN104746132A | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 梁书正 | 申请(专利权)人: | 有研新材料股份有限公司;有研半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B13/28 | 分类号: | C30B13/28 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青;熊国裕 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置,包括夹持针托杆、夹持针支架和夹持针牵引钢丝,夹持针托杆的一端位于夹持针下方,另一端连接夹持针牵引钢丝,该夹持针支架上设有导轨,该导轨内设有可移动支撑块,该可移动支撑块的上端与夹持针托杆采用轴杆连接,该夹持针托杆以该轴杆连接处为圆心,沿垂直方向可上下摆动;可移动支撑块的下端连接传动杆,该传动杆连接移动电机。本发明改变原有夹持机构中一次夹持针为固定夹持针支架设计,改为可移动设计。操作人员可通过控制夹持支架移动电机,使夹持针支架导轨内的可移动支撑块产生上、下移动,从而实现对一次夹持针初始位置动态设置和一次夹持针投放过程中的人为干预,增强了夹持机构的适应性。 | ||
搜索关键词: | 区熔单晶炉中 夹持 调整 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置,包括夹持针托杆、夹持针支架和夹持针牵引钢丝,其特征在于,夹持针托杆的一端位于夹持针下方,另一端连接夹持针牵引钢丝,该夹持针支架上设有导轨,该导轨内设有可移动支撑块,该可移动支撑块的上端与夹持针托杆采用轴杆连接,该夹持针托杆以该轴杆连接处为圆心,沿垂直方向可上下摆动;可移动支撑块的下端连接传动杆,该传动杆连接移动电机。
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