[发明专利]可实现快速阻抗匹配的射频电源系统有效
| 申请号： | 201310629233.3 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103619117A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;孙小孟;李英杰;夏洋;王文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；执行机构包括固定阻抗元件、可变阻抗元件和用于改变可变阻抗元件数值的驱动装置，可变阻抗元件仅有一个；控制器接收来自检测器的检测值，经处理计算后控制执行机构的驱动装置工作以改变可变阻抗元件数值。采用该射频电源系统，能够实现在较大等离子体腔室内的较细线宽工艺条件下的负载阻抗快速匹配，并且能够降低阻抗匹配器内的可变阻抗元件故障率，提高设备的使用可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 快速 阻抗匹配 射频 电源 系统 | ||
【主权项】：
一种可实现快速阻抗匹配的射频电源系统，包括射频功率发生器和阻抗匹配器，其特征在于：所述射频功率发生器输出的射频功率信号的频率根据阻抗匹配器获取的检测值来变化；所述阻抗匹配器包括检测器、控制器和执行机构；所述执行机构包括固定阻抗元件、可变阻抗元件和用于改变所述可变阻抗元件数值的驱动装置，所述可变阻抗元件仅有一个；所述控制器接收来自所述检测器的检测值，经处理计算后控制所述执行机构的所述驱动装置工作以改变所述可变阻抗元件数值。
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