[发明专利]中心波长2700nm的航空尾气气体检测滤光片

摘要

本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的中心波长2700nm的航空尾气气体检测滤光片，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该中心波长2700nm的航空尾气气体检测滤光片，其中心波长2700±5nm，其在航空尾气气体检测过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片的峰值透过率Tp≥80％、带宽=200±20nm，1000～3500nm（除通带外），Tavg＜0.5%。

主权项

一种中心波长2700nm的航空尾气气体检测滤光片，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：96nm厚度的Ge层、304nm厚度的SiO层、132nm厚度的Ge层、159nm厚度的SiO层、82nm厚度的Ge层、338nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、339nm厚度的SiO层、137nm厚度的Ge层、349nm厚度的SiO层、70nm厚度的Ge层、169nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、343nm厚度的SiO层、149nm厚度的Ge层、473nm厚度的SiO层、232nm厚度的Ge层、668nm厚度的SiO层、103nm厚度的Ge层和226nm厚度的SiO层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：178nm厚度的Ge层、166nm厚度的SiO层、92nm厚度的Ge层、222nm厚度的SiO层、102nm厚度的Ge层、277nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、150nm厚度的SiO层、55nm厚度的Ge层和150nm厚度的SiO层。