[发明专利]一种微波水热制备CoTiO3 薄膜的方法

摘要

一种微波水热制备CoTiO3薄膜的方法，将六水硝酸钴加入到无水乙醇中配制成透明溶液A；向其中加入钛酸丁酯，制得混合溶液B；向混合溶液B中加入柠檬酸，然后加入水，搅拌均匀制得作为镀膜液的溶液C；将溶液C倒入水热反应釜中，然后将双氧水活化过的硅基片浸于溶液C中，再密封水热反应釜并放入温压双控微波水热反应仪中，选择控温模式或者控压模式进行反应，反应结束后自然冷却到室温，然后打开水热反应釜取出双氧水活化过的硅基片并清洗表面残余的溶液C，最后放入真空燥箱中干燥，即得到CoTiO3薄膜。该方法制备工艺简单、周期短且节省能源，所制备的薄膜纯度高，均一性较好。

主权项

一种微波水热制备CoTiO3薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将六水硝酸钴加入到无水乙醇中搅拌均匀，配制成透明溶液A；2）向透明溶液A中加入钛酸丁酯，使得Co2+与Ti4+的摩尔比为1∶(0.5～3)，并搅拌均匀，制得混合溶液B；3）向混合溶液B中加入柠檬酸，使柠檬酸的摩尔量与Co2+和Ti4的总摩尔量之比为1∶(0.2～2)，然后加入水，搅拌均匀制得作为镀膜液的溶液C；4）将溶液C倒入水热反应釜中，然后将双氧水活化过的硅基片浸于溶液C中，再密封水热反应釜并放入温压双控微波水热反应仪中，选择控温模式或者控压模式进行反应，反应结束后自然冷却到室温，然后打开水热反应釜取出双氧水活化过的硅基片并清洗表面残余的溶液C，最后放入真空燥箱中干燥，即得到CoTiO3薄膜；其中，控温模式时，水热温度控制在100～220℃，反应时间控制在10min～90min；控压模式时，水热压力控制在0.5MPa～4.0MPa，反应时间控制在10min～90min。