[发明专利]起始通过波长5700nm的测温滤光片有效
| 申请号： | 201310636274.5 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103698830A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 吕晶;王继平;刘晶 | 申请（专利权）人： | 杭州麦乐克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01J5/08 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 周豪靖 |
| 地址： | 311188 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的起始通过波长5700nm的测温滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该起始通过波长5700nm的测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片6574nm T≥90%；6574～24000nm Tavg≥78%；24000nm T≥20%；1300～5700nm T＜3%Tavg＜0.5%。 | ||
| 搜索关键词： | 起始 通过 波长 5700 nm 测温 滤光 | ||
【主权项】：
一种起始通过波长5700nm的测温滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：109nm厚度的Ge层、95nm厚度的ZnS层、234nm厚度的Ge层、161nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、140nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、79nm厚度的Ge层、238nm厚度的ZnS层、72nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、598nm厚度的ZnS层、248nm厚度的Ge层、545nm厚度的ZnS层、342nm厚度的Ge层、419nm厚度的ZnS层、394nm厚度的Ge层、434nm厚度的ZnS层、303nm厚度的Ge层、686nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、470nm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和387nm厚度的ZnS层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：169nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、218nm厚度的Ge层、210nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、214nm厚度的ZnS层、158nm厚度的Ge层、316nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、290nm厚度的ZnS层、87nm厚度的Ge层、306nm厚度的ZnS层、151nm厚度的Ge层、467nm厚度的ZnS层、183nm厚度的Ge层、416nm厚度的ZnS层、217nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、301nm厚度的ZnS层、273nm厚度的Ge层、378nm厚度的ZnS层、220nm厚度的Ge层、605nm厚度的ZnS层、71nm厚度的Ge层、681nm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和298nm厚度的ZnS层。
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