[发明专利]一种基于电子动态调控的飞秒激光刻蚀玻璃的方法

摘要

本发明涉及一种基于电子动态调控的飞秒激光刻蚀玻璃的方法，具体涉及一种利用飞秒激光双脉冲对玻璃扫描改性，进而提高改性区域刻蚀效率的方法，属于飞秒激光应用技术领域。通过把传统的飞秒激光调制为飞秒激光双脉冲，调控材料局部瞬时电子状态，从而增强飞秒激光辐照区的改性程度和改性均匀度，最终提高辐照区的刻蚀效率，改性区的刻蚀效率可以比采用传统的飞秒激光脉冲提高数倍。

主权项

一种基于电子动态调控的飞秒激光刻蚀玻璃的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一，通过分束合束或脉冲整形，把传统飞秒激光在时域上调制为飞秒激光双脉冲，且两个子脉冲之间的时间间隔范围为100fs‑100ps，两个子脉冲能量比的范围为0.1‑10；步骤二，把产生的飞秒激光双脉冲聚焦到玻璃材料表面，通过玻璃材料与激光焦点的相对运动，在玻璃上扫描出所需的微孔图案；步骤三，把带有扫描微孔图案的玻璃材料浸入浓度为1%‑10%的氢氟酸溶液中，扫描的微孔图案区与氢氟酸溶液反应去除，形成中空的微孔结构。