[发明专利]一种超纯电子级氢氟酸的制备方法无效
| 申请号： | 201310637338.3 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103613075A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张学良;田志扬;周涛涛;唐隆晶;汪靖;王海;潘绍忠;王瑞 | 申请（专利权）人： | 浙江凯圣氟化学有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 324004 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯电子级氢氟酸的制备方法。该方法包括如下步骤，原料预处理：将原料HF中As元素转化为HAsF6以及AsF5；气化精馏处理：除去杂质；过滤吸收：除去粒径大于0.2μm的颗粒，即得到质量百分浓度为49±0.2%的高纯电子级氢氟酸。本方法生产效率高、安全环保、产品质量稳定，杂质含量低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 氢氟酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a)氟气氧化预处理原料HF以流速为40‑100kg/min进入氟气反应器（1），控制氟气通入反应器速度为1‑30/min；反应后的液态HF进入暂存缓冲槽（2）；反应产生的低沸点物质及氟气反应残气通过真空抽吸装置（3）回收；b）低沸精馏暂存缓冲槽（2）中的液态HF进入低沸精馏塔（4），塔内通入高纯氮气，进行全回流脱轻处理，即得低沸HF；c）高沸精馏低沸HF进入高沸精馏塔（5）进行脱重处理，塔内通入高纯氮气，进行全回流脱重处理，即得高沸HF；d）过滤吸收经调配泵（6）将引入高沸HF调配槽（7），高沸HF依次经换热器（8）和过滤循环柜（9）处理，除去粒径大于0.2μm的颗粒，超纯水吸收，即得浓度为49±0.2wt%的高纯电子级氢氟酸。
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