[发明专利]一种用于AlGaInN材料体系薄膜生长的分割图形蓝宝石衬底无效
| 申请号： | 201310640524.2 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN103647005A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘军林;江风益 | 申请（专利权）人： | 南昌大学;南昌黄绿照明有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/22;B28D5/00;B23K26/36 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 330029 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于AlGaInN材料体系薄膜生长的分割图形蓝宝石衬底，包括蓝宝石衬底本体，图形分割槽将蓝宝石衬底本体的上表面分割成多个相互独立的重复的图形单元，图形单元为AlGaInN材料的生长平台。蓝宝石衬底本体为平面蓝宝石衬底本体或图形蓝宝石衬底本体。图形分割槽为沟槽型图形分割槽或第二介质型图形分割槽。本发明的分割图形衬底是通过沟槽或第二介质将蓝宝石衬底分割成一个个相互独立的、互不相连的图形单元。这种被分割开来的AlGaInN外延薄膜能大大提升LED的波长均匀性，提高LED外延片的良率，并大大降低AlGaInN外延薄膜与蓝宝石衬底之间由于激光剥离带来的巨大热应力以及热冲击，可大大提升激光剥离的合格率，提升蓝宝石衬底垂直结构LED芯片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 algainn 材料 体系 薄膜 生长 分割 图形 蓝宝石 衬底 | ||
【主权项】：
一种用于AlGaInN材料体系薄膜生长的分割图形蓝宝石衬底，包括蓝宝石衬底本体，其特征在于：在蓝宝石衬底本体的上表面采用正交的图形分割槽，所述图形分割槽将蓝宝石衬底本体的上表面分割成多个相互独立、互不相连的的重复的图形单元，图形单元为AlGaInN材料的生长平台。
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