[发明专利]卷对卷溅射方法有效
| 申请号： | 201310641578.0 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103849851A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴定烘;安阵修;林昌默;梁基模;吴商润 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 卷对卷溅射方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，并在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第一靶材料，并且所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 方法 | ||
【主权项】：
一种卷对卷溅射方法，所述方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，和在卷线机辊上卷绕所述柔性基板，其中，所述沉积部分包括第一沉积部分，所述第一沉积部分包括：第一溅射部分，所述第一溅射部分将第一靶材料沉积到所述柔性基板的一个表面上，和加热器，所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。
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