[发明专利]一种用于传输线上的翻转机构有效
| 申请号： | 201310642503.4 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103681422A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李广旭;刘珍妮;徐现飞;李补忠;王广明;桂晓波 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于传输线上的翻转机构，其包括主体框架支撑单元、翻转单元、正交运动单元、抓取单元和控制单元，所述主体框架支撑单元包括整体框架和第一安装板，所述第一安装板垂直且连接在整体框架的一端；所述第一安装板上固定连接有控制单元；所述整体框架上远离第一安装板的一端固定连接有第二安装板，所述第二安装板上固定连接有翻转单元，所述正交运动单元的两端分别连接翻转单元和抓取单元。本发明具有如下优点：翻转单元、正交运动单元和抓取单元的有效配合实现料架进入不同的设备时，在竖直和横放之间随意翻转，且结构紧凑，翻转平稳，可实现在线式工作，满足晶硅太阳能自动线硅片料架的翻转动作要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 传输 线上 翻转 机构 | ||
【主权项】：
一种用于传输线上的翻转机构，其特征在于：其包括主体框架支撑单元、翻转单元、正交运动单元、抓取单元和控制单元，所述主体框架支撑单元包括整体框架和第一安装板，所述第一安装板垂直且连接在整体框架的一端；所述第一安装板上固定连接有控制单元；所述整体框架上远离第一安装板的一端固定连接有第二安装板，所述第二安装板上固定连接有翻转单元，所述正交运动单元的两端分别连接翻转单元和抓取单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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