[发明专利]一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法有效
| 申请号： | 201310642547.7 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103645348A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 殷伯华;陈代谢;韩立;刘俊标;林云生;初明璋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴方向偏转过程，实现扫描器X轴方向运动引起扫描器Z轴方向耦合振动的微纳米尺度高分辨测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 耦合 振动 分辨 测量方法 | ||
【主权项】：
一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法，其特征在于，所述的测量方法基于原子力显微镜成像技术，利用钝化的原子力显微镜的探针接触样品的光滑表面，通过光电探测器检测探针Z轴方向的偏转，实现对扫描器X轴运动引起Z轴耦合振动的高分辨测量。
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