[发明专利]一种用于将硅片花篮转向的旋转机构有效
| 申请号： | 201310642616.4 | 申请日： | 2013-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103681424A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李广旭;张恒峰;房婷;李补忠;徐现飞;王广明;朱旺平 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片生产领域，尤其涉及一种用于将硅片花篮转向的旋转机构。该旋转机构包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元，其中，所述旋转单元为旋转气缸。本发明提供的旋转机构通过旋转气缸的转动来带动传输单元以及位于传输单元上方的硅片花篮转动，以实现硅片花篮的转向，有效地实现了花篮在不同工序间的换向，降低了传送过程中硅片的碎片率，提高了生产效率，而且旋转气缸使得花篮的转向更加平稳、准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 花篮 转向 旋转 机构 | ||
【主权项】：
一种用于将硅片花篮转向的旋转机构，包括由支架支撑的旋转单元以及由所述旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元，其特征在于，所述旋转单元为旋转气缸。
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