[发明专利]悬浮掩膜板的制作方法

摘要

一种悬浮掩膜板的制作方法，包括车削方形板坯料正面形成平行长边的第一斜面、平行宽边的第二斜面，第一、第二斜面垂直、相连；第一斜面外侧形成第一通孔，在第二斜面外侧形成第二通孔；第一斜面内侧形成第一凹槽，第二斜面内侧形成第二凹槽；对方形板坯料背面进行车削，形成与第一斜面相对第三斜面、与第二斜面相对第四斜面，第三斜面和第四斜面垂直、相连，第三斜面上具有第一凸台，第四斜面上具有第二凸台；第三斜面外侧形成与第一通孔连通的第三通孔，在第四斜面外侧形成与第二通孔连通第四通孔；沿第三、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分；将悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。采用本发明能提高悬浮掩膜板加工精度。

主权项

一种悬浮掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：提供方形板坯料，对所述方形板坯料的正面进行车削形成平行于长边的第一斜面、平行于宽边的第二斜面，所述第一斜面和第二斜面垂直、相连；在所述第一斜面外侧的方形板坯料上形成第一通孔，在所述第二斜面外侧的方形板坯料上形成第二通孔；在所述第一斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第一斜面的第一凹槽，在所述第二斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第二斜面的第二凹槽；对所述方形板坯料的背面进行车削，形成与所述第一斜面相对的第三斜面、与所述第二斜面相对的第四斜面，所述第三斜面和第四斜面垂直、相连，所述第三斜面上具有与第一凹槽相对的第一凸台，所述第四斜面上具有与第二凹槽相对的第二凸台；在所述第三斜面外侧的方形板坯料上形成与第一通孔连通的第三通孔，在所述第四斜面外侧的方形板坯料上形成与第二通孔连通的第四通孔；沿所述第三斜面、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分；将所述悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。