[发明专利]碳基减摩耐磨涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201310645609.X | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104694893A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;王立平;李金龙;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 315201 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳基减摩耐磨涂层及其制备方法。该碳基减摩耐磨涂层为由粘结层与工作层交替沉积而成的多层膜结构；所述粘结层为Ti、Cr、W元素中的一种的单质或氮化物或碳化物的薄膜，或者为Si元素的薄膜；所述工作层为类石墨非晶碳薄膜，所述类石墨非晶碳薄膜中石墨结构的原子百分含量大于70%。该碳基减摩耐磨涂层，通过粘结层和工作层的交替沉积，实现了类石墨非晶碳涂层的大厚度制备，使类石墨非晶碳涂层优异的水环境摩擦学性能得以长寿命稳定发挥；且交替沉积的多界面设计，进一步提高了类石墨非晶碳涂层在各种水基流体环境中的耐腐蚀/侵蚀能力。 | ||
| 搜索关键词： | 碳基减摩 耐磨 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种碳基减摩耐磨涂层，其特征在于，为由粘结层与工作层交替沉积而成的多层膜结构；所述粘结层为Ti、Cr、W元素中的一种的单质或氮化物或碳化物的薄膜，或者为Si元素的薄膜；所述工作层为类石墨非晶碳薄膜，所述类石墨非晶碳薄膜中石墨结构的原子百分含量大于70%。
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