[发明专利]一种在线实时检测外延片生长的方法有效
| 申请号： | 201310646667.4 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104697972A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 严冬;李成敏;叶龙茂;王林梓;刘健鹏;刘涛 | 申请（专利权）人： | 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法根据各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据，实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息，并实时反馈各外延片的波长偏差，从而在线实时检测各外延片的生长信息。该方法参数易协调一致且实时检测数据量明显降低，应用本发明提供的在线实时检测外延片生长的方法能够减小外延片质量差及报废带来的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 实时 检测 外延 生长 方法 | ||
【主权项】：
一种在线实时检测外延片生长的方法，其特征在于，包括以下步骤：生成各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据；根据所述各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据，实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息，并实时反馈各外延片的波长偏差，从而在线实时检测各外延片的生长信息。
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