[发明专利]一种在线实时检测外延片温度的装置

摘要

本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的装置，属于半导体检测技术领域。该装置包括黑体辐射值运算模块和温度运算模块，该装置通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子，可以准确测量得到外延片的温度T。该装置能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。

主权项

一种在线实时检测外延片温度的装置，其特征在于：黑体辐射值运算模块和温度运算模块；所述黑体辐射值运算模块根据得到Pb（λ，T），其中，Pb（λ，T），黑体辐射值，L（λ，T），外延片的热辐射强度，R，外延片的反射率，ΔTT，反应腔窗口镀膜引起的热辐射衰减因子，ΔTR，反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子，ε(R/ΔTR)，外延片的热发射率，R，外延片的反射率，ΔTR，反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子；所述温度运算模块根据得到所述外延片的温度T，其中，Pb（λ，T），理想黑体辐射值，h，普朗克常数，k，玻尔兹曼常数，c，光速，λ，波长，T，温度。