[发明专利]使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法有效
| 申请号： | 201310654614.7 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103645240A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 唐国强;赵洪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/64 | 分类号： | G01N27/64 |
| 代理公司： | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人： | 谢亮;武寄萍 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统和方法，该系统包括二次离子质谱仪，中性溅射物收集装置，离子源和小型质谱仪，所述中性溅射物收集装置收集所述二次离子质谱仪在分析样品时产生的中性溅射物，并将其传送至所述离子源离子化后由所述小型质谱仪进行质量分析，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的金属元素和非金属元素，或者，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的非金属元素和金属元素，通过二次离子质谱仪和小型质谱仪能够达到同时分析样品中金属元素和非金属元素的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 二次 离子 质谱仪 同时 分析 非金属元素 金属元素 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种使用二次离子质谱仪同时分析非金属元素和金属元素的系统，包括二次离子质谱仪，中性溅射物收集装置，离子源和小型质谱仪，其特征在于，所述中性溅射物收集装置收集所述二次离子质谱仪在分析样品时产生的中性溅射物，并将其传送至所述离子源离子化后由所述小型质谱仪进行质量分析，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的金属元素和非金属元素，或者，所述二次离子质谱仪和所述小型质谱仪分别用来分析所述样品中的非金属元素和金属元素。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院地质与地球物理研究所，未经中国科学院地质与地球物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310654614.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光源模组
- 下一篇：有机发光显示装置及其制造方法
