[发明专利]一种用于晶圆表面瑕疵检测的装置与方法有效
| 申请号： | 201310656750.X | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103674966A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 舒远;王光能;周蕾;米野;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族电机科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造设备领域，尤其是涉及一种用于晶圆表面瑕疵检测的装置与方法，该装置包括主体部分和用以控制主体部分的控制单元，该主体部分包括：运动平台，其具有X轴和Y轴，X轴与Y轴定义一运动平面，Y轴可用以承载晶圆；第一Z轴，装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动；线阵相机，装设在第一Z轴上并通过第一Z轴调焦，用于晶圆表面瑕疵检测；第一光源，用来辅助线阵相机进行图像采集；第二Z轴，装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动；面阵相机，装设在第二Z轴上并通过第二Z轴调焦，用于晶圆表面瑕疵复查；第二光源，用来辅助面阵相机进行图像采集。本发明可以提高表面瑕疵检测的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面 瑕疵 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆表面瑕疵检测的装置，包括主体部分和用以控制所述主体部分的控制单元，其特征在于，所述主体部分包括：运动平台，其具有X轴和可相对所述X轴垂直运动的Y轴，所述X轴与Y轴定义运动平面，所述Y轴可用以承载晶圆；第一Z轴，装设在所述X轴上并可相对于所述的运动平面垂直运动；线阵相机，装设在所述第一Z轴上并通过第一Z轴调焦，用于晶圆表面瑕疵检测；第一光源，用来辅助所述的线阵相机进行图像采集；第二Z轴，装设在所述X轴上并可相对于所述的运动平面垂直运动；面阵相机，装设在所述第二Z轴上并通过第二Z轴调焦，用于晶圆表面瑕疵复查；第二光源，用来辅助所述面阵相机进行图像采集。
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