[发明专利]多轴电容式加速度计有效
| 申请号： | 201310659173.X | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103645343A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 汪建平;邓登峰 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多轴电容式加速度计，所述多轴电容式加速度计的XY轴加速度计的中心锚点采用带缺口的正方形，减小了温度变化时由于基底和中心锚点的材料热膨胀系数不同而产生的应力，因而减小了中心锚点的形变，进而减小了温度漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
一种多轴电容式加速度计，其特征在于，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，所述中心锚点为具有缺口的结构。
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