[发明专利]应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定方法及装置有效
| 申请号： | 201310659550.X | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103615979B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李显杰;赵飞 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定装置，所述标定装置包括工作平台、龙门、标定尺、斜垫块、图像采集设备CCD，单轴位移平台，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺放置于所述斜垫块上且设置有等间距的固定图形，所述斜垫块放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述CCD通过所述单轴位移平台与所述龙门上滑动连接。相应地，本发明提供了一种应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定方法，本发明结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现标定CCD的测量变化，通过测量结果计算出CCD在图像采集过程中发生的偏移误差，对CCD的位移平台进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 激光 成像 系统 不同 厚度 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于激光成像系统中不同厚度基板的标定装置，其特征在于，所述标定装置包括：工作平台、龙门、标定尺、斜垫块、图像采集设备CCD、单轴位移平台和吸盘，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺放置于所述斜垫块上且设置有等间距的固定图形，所述斜垫块放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述CCD通过所述单轴位移平台与所述龙门上滑动连接。
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