[发明专利]一种单晶硅拉晶炉的熔融硅液面检测方法及测量装置

摘要

发明公开了一种单晶硅拉晶炉的熔融硅液面检测方法及测量装置，该方法包括在单晶炉的观察口上安装一字线激光器和相机，将一字线激光光束从拉晶炉的观察口上斜射入热屏和熔融硅液面上，熔融硅液面对打入到其液面上的激光光束产生镜面反射，反射光束投影到热屏上，在热屏上的投影光束同样会在熔融硅液面上产生投影。随着熔融硅液面的变化，激光光束与熔融硅液面的接触点会随之发生变化，因此热屏上的反射光束与熔融硅液面上的投影之间的距离也会随之变化，最终使得相机接收到的光束的像素位置产生变化。通过标定图像上两投影点之间像素位置的变化与实际熔融硅液面位置的变化，就可以得到实际液面变化的信息。

主权项

一种单晶硅拉晶炉的熔融硅液面检测方法，其特征在于，包括以下步骤：a.安装在拉晶炉观察口处的测量装置中的一字线激光器发射激光光束，使一字线激光器发射的激光光束入射到拉晶炉的热屏和熔融硅液体上，安装在拉晶炉观察口的测量装置中的相机采集熔融硅液面上的矩形激光反射光斑以及热屏上的矩形激光反射光斑的投影；b.调整一字线激光器的位置，使得热屏和熔融硅液面上的矩形激光光斑处于同一条水平线上；调整相机镜头焦距，使得两个反射激光光斑的亮度保持一致，能清晰的呈现在相机视野中；c.对相机采集的矩形激光光斑经过图像处理算法，提取两个光斑的边缘以及光斑的中心点，计算出两个矩形激光光斑的中心的距离，从而得到热屏下边缘到熔融硅液面的距离。