[发明专利]一种晶振片清理设备无效
| 申请号： | 201310661031.7 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103668081A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶振片清理设备，该晶振片清理设备包括：反应腔体、承载所述晶振片的承载装置和电离所述反应腔体内的第一气体以形成对所述晶振片进行灰化的等离子体的射频装置；所述承载装置和所述射频装置位于所述反应腔体内。本发明的技术方案利用等离子体灰化技术，在不影响晶振片的测量精度的情况下，有效去除覆盖于晶振片表面的有机物，使得晶振片使用寿命更长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶振片 清理 设备 | ||
【主权项】：
一种晶振片清理设备，其特征在于，包括：反应腔体、承载所述晶振片的承载装置和电离所述反应腔体内的第一气体以形成对所述晶振片进行灰化的等离子体的射频装置；所述承载装置和所述射频装置位于所述反应腔体内。
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