[发明专利]机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法有效
| 申请号： | 201310661863.9 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104699019B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张哲;董海龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种机台恢复检验方法，包括：填写处理步骤，根据所述处理步骤得到一处理步骤信息；根据一预先设置的机台监测信息，对所述处理步骤信息进行检测，并得到一检测结果。本发明还揭示了一种应用该方法的机台恢复检验系统。本发明的机台恢复检验系统以及机台恢复检验方法，能够避免由于工程师错误的处理指令带来非预期的效果，提高工厂的自动化程度，提高产品良率，进一步提高客户满意度。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 恢复 检验 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机台恢复检验系统，用于机台当机后进行恢复时对产品处理的检验，所述机台恢复检验系统包括：机台恢复系统，用于填写处理步骤，并输出一处理步骤信息；智能规则引擎模块，存储有预先设置的机台监测信息，所述智能规则引擎模块接收所述处理步骤信息，根据所述机台监测信息对所述处理步骤信息进行检测，并输出一检测结果，所述机台监测信息包括检测项目和提示类型，所述提示类型包括警告以及提示。
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