[发明专利]一种靶材与背板的粘合连接方法在审
| 申请号： | 201310664863.4 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104690487A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王越;徐学礼;何金江;刘红宾;刘书芹;李勇军 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P11/00 | 分类号： | B23P11/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 薄观玖 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于靶材制造技术领域，特别涉及一种靶材与背板的粘合连接方法。本发明方法包括：提供靶材及背板；对靶材与背板粘合面进行加工；在靶材与背板粘合面上均匀涂覆粘合所需的有机胶；对靶材与背板进行粘合，采用常温固化或低温固化的方式使粘合可靠。本发明方法利用有机胶粘合实现了常温或低温下靶材的可靠连接，可保证靶材溅射过程中具备良好的导热性、导电性及足够的连接强度，同时降低了连接温度，从而避免了高温加热可能引起的靶材碎裂、变形等问题，可满足特殊靶材的常温连接要求，同时降低了操作难度，提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 粘合 连接 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材与背板的粘合连接方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）提供靶材与背板；（2）对靶材与背板的粘合面进行加工；（3）在靶材与背板粘合面上均匀涂覆粘合胶；（4）靶材与背板进行加压固定，使粘合胶固化。
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