[发明专利]双磁场复推型真空电弧蒸发源在审
| 申请号： | 201310665488.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104711523A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈大民;王洪权;候玉萍 | 申请（专利权）人： | 陈大民 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于一种双磁场复推型真空电弧蒸发源，包括安装基体（5）、阴极靶材（3）、压板（16）、引弧装置固定板（8）和压盖（9），其特征在于安装基体（5）上缠有外磁场线圈（1）；在压盖（9）的中心装有铁芯（12），在铁芯（12）上缠有内磁场线圈（或永磁体）（4）；在引弧装置固定板（8）的上部装有引弧装置（2）。该发明原理、结构简单，靶材利用率高，工件膜层均匀，镀膜质量好，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场 复推型 真空 电弧 蒸发 | ||
【主权项】：
一种双磁场复推型真空电弧蒸发源，包括安装基体（5）、阴极靶材（3）、压板（16）、引弧装置固定板（8）和压盖（9），其特征在于安装基体（5）上缠有外磁场线圈（1）；在压盖（9）的中心装有铁芯（12），在铁芯（12）上缠有内磁场线圈（或永磁体）（4）；在引弧装置固定板（8）的上部装有引弧装置（2）。
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