[发明专利]自由曲面反射式扫描系统有效
| 申请号： | 201310665525.2 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104714297B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 杨通;朱钧;金国藩;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自由曲面反射式扫描系统，包括一光源；一光阑；一第一自由曲面反射镜设置在所述光阑远离光源的一侧，用于将所述激光反射，形成一第一反射光；以及一第二自由曲面反射镜设置在所述第一反射光的光路上，用于将所述第一反射光二次反射，形成一第二反射光；所述第一自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面，所述第二自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面。 | ||
| 搜索关键词： | 自由 曲面 反射 扫描 系统 | ||
【主权项】：
一种自由曲面反射式扫描系统，包括：一光源，用于输出一激光；一光阑，设置在所述激光的出射光路上；一第一自由曲面反射镜设置在所述光阑远离光源的一侧，该第一自由曲面反射镜用于将所述激光反射，形成一第一反射光；以及一第二自由曲面反射镜设置在所述第一反射光的光路上，用于将所述第一反射光二次反射，形成一第二反射光；该第一自由曲面反射镜所处的空间定义一第一三维直角坐标系(X，Y，Z)，所述光阑中心设置在Z轴所在的直线上；该第二自由曲面反射镜所处的空间定义一第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)，所述第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)为所述第一三维直角坐标系(X，Y，Z)在YZ平面内沿逆时针方向旋转90度得到，且该第二三维直角坐标系(X’，Y’，Z’)的坐标原点设置在所述第一三维直角坐标系(X，Y，Z)的Y轴所在的直线上，所述第一自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的xy多项式曲面，所述第二自由曲面反射镜的自由曲面为一4次的x’y’多项式曲面。
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