[发明专利]晶圆片识别旋转定位吸附台

摘要

本发明公开了一种晶圆片识别旋转定位吸附台，解决了现有的倒角设备中的晶圆片的旋转吸附定位台存在的结构复杂和使用不简便的问题。包括在吸附台台板（1）上设置有轴通过孔，在吸附台台板上的轴通过孔下方的吸附台台板的下底面上固定设置有带座轴承（2）和轴（3），伺服电机（5）的输出轴通过联轴器（6）与轴（3）的下端连接，轴的上端是依次从动密封座（7）和真空导入盒（8）穿过的，在轴的上端部的轴心处设置有轴中真空气路（16），在轴的顶端设置有晶圆片吸附托盘（10），晶圆片吸附托盘（10）上的吸附孔与轴中真空气路（16）连通，在晶圆片吸附托盘（10）上吸附有晶圆片（11）。本发明节省了使用空间，提高了检测效率。

主权项

一种晶圆片识别旋转定位吸附台，包括吸附台台板（1），在吸附台台板（1）上设置有轴通过孔，在吸附台台板（1）上的轴通过孔下方的吸附台台板的下底面上固定设置有带座轴承（2），轴（3）设置在带座轴承（2）中，在吸附台台板下底面上固定设置有伺服电机座（4），在伺服电机座（4）上设置有伺服电机（5），其特征在于，伺服电机（5）的输出轴通过联轴器（6）与轴（3）的下端连接在一起，在吸附台台板（1）上设置有动密封座（7），在动密封座（7）上设置有真空导入盒（8），轴（3）的上端是依次从动密封座（7）和真空导入盒（8）穿过的，在轴（3）的上端部的轴心处设置有轴中真空气路（16），在真空导入盒（8）中设置有真空腔（15），真空腔（15）与轴中真空气路（16）连通，在真空导入盒（8）的侧壁上设置有真空导入气路（14），真空导入气路（14）的一端与真空腔（15）连通，真空导入气路（14）的另一端与在真空导入盒（8）的外侧壁上设置的抽真空接头嘴（9）连通，在轴（3）的顶端设置有晶圆片吸附托盘（10），晶圆片吸附托盘（10）上的吸附孔与轴中真空气路（16）连通，在晶圆片吸附托盘（10）上吸附有晶圆片（11）。