[发明专利]一种UV固化油墨及使用该油墨制备掩膜板的方法在审
| 申请号： | 201310668653.2 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104710869A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 刘屹东;张乐乐;沈波涛 | 申请（专利权）人： | 方圆环球光电技术盐城有限公司;未名光电盐城有限公司 |
| 主分类号： | C09D11/101 | 分类号： | C09D11/101;G03F1/68 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 224005 江苏省盐城市盐都区盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及到一种UV固化油墨及使用该油墨制备掩膜板的方法。所述的一种UV固化墨由光活性预聚物、光引发剂、活性单体、颜料及添加剂组成，将UV固化油墨置入UV平板喷绘机中，通过UV平板喷绘机，在衬底上打印出图形化掩膜板，放入烘箱中烘烤，制得掩膜板，进而在掩膜板上通过光刻技术制备出有机电子器件的电极。采用本发明方法制备的掩膜板，外观边缘整体、表面光滑平整、无污点，操作过程简单、无需特殊工艺和特殊设备，适用于制造半导体器件电极常用的掩膜板，易于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 uv 固化 油墨 使用 制备 掩膜板 方法 | ||
【主权项】：
一种UV固化油墨，其特征在于，所述的UV固化油墨包括：光活性预聚物，其质量百分比为30%~40%；光引发剂，其质量百分比为5%~15%；活性单体，其质量百分比为42%~52%；颜料，其质量百分比为10%~25%；添加剂，其质量百分比为10%~25%。
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