[发明专利]用于在蚀刻处理中集成计量的方法和装置

摘要

本发明公开了一种用于在蚀刻处理中集成计量的方法和装置。本发明的装置包括具有传送腔室、蚀刻腔室和计量腔室的多腔室系统，以及配置为可在所述蚀刻腔室和所述计量腔室之间传送衬底的机械手。本发明还公开了一种使用该装置处理衬底和执行计量测量的方法。本发明的方法和装置可用于在衬底处理过程中，更为便利地测量和监控衬底的多种特性，由此可极大地提高衬底处理的精确度。

主权项

1.一种衬底处理装置，包括：包括传送腔室、蚀刻腔室和计量腔室的多腔室系统，其中门或栅阀设置在所述传送腔室和所述计量腔室之间；和机械手，设置在所述传送腔室中并配置为在所述蚀刻腔室和所述计量腔室之间传送衬底；所述机械手包括：机械臂；具有附接到所述机械臂的第一部分的板；以及附接到所述板的第二部分的叶片，所述叶片具有至少一个可调构件，用于改变所述叶片相对于所述板的位置，和限定开口的外围部分，该外围部分具有用于将衬底支撑在该外围部分上方的预定高度的支撑构件，其中所述至少一个可调构件配置为调整所述叶片和所述板之间的高度和角度的至少其中之一，其中所述至少一个可调构件包括设置在所述叶片的中心纵轴的相对侧上的螺丝孔中的两个固定螺丝，所述两个固定螺丝中的每一个都具有与所述板的顶表面接触的端部，以及其中所述叶片的外围部分进一步包括限定衬底的相对于所述外围部分的横向位置的多个突出构件，其中所述突出构件从所述叶片向上延伸并包围所述衬底的至少两侧。