[发明专利]一种光刻式的3D打印机有效

专利信息
申请号: 201310676063.4 申请日: 2013-12-11
公开(公告)号: CN103631097A 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 马驰飞;王楠;陈昌龙;高洪涛;陈铭勇;严伟;胡松 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 孟卜娟
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种光刻式的3D打印机,属于光刻技术领域,包括:光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据,并按高度方向分解成厚度统一的薄层后,用图像系统生成每一薄层的曝光图形,在光源系统照明下,经投影系统投影成像,使曝光层的光刻胶固化,在机械系统夹持已固化光刻胶步进平移动作下完成三维扫描,得到高精度的三维实体。本发明的优点在于:系统区别于传统3D打印,提高了精度打印精度和效率,可靠性较高。
搜索关键词: 一种 光刻 打印机
【主权项】:
一种光刻式的3D打印机,其特征在于:该3D打印机有五个子系统:光源系统、图像系统、投影系统、机械系统和电控系统,所述光源系统发出多束独立的平行光,通过所述图像系统的反射得到带有图像信息的光束,所述投影系统将光束成像到固定的曝光面,使曝光面附近的一层光刻胶固化,固化的光刻胶由所述机械系统夹持移动,通过在垂直于曝光面的方向上的移动完成三维扫描,最终得到三维实体,整个系统由所述电控系统统一控制。
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