[发明专利]铸造大尺寸硅锭的方法

摘要

本发明公开了一种铸造大尺寸硅锭的方法，涉及硅锭的制造方法技术领域。包括以下步骤：（1）对G5铸锭炉的热场进行改造，改造后的热场符合安装G6铸锭炉底板、侧板和坩埚的要求，然后在热场内安装G6铸锭炉底板、侧板以及坩埚；（2）加热；（3）熔化；（4）结晶；（5）退火；（6）冷却。所述方法在不改变加热器、散热装置等大件热场部件的前提下，实现了热场升级，最大化的释放精功500N型铸锭炉产能，同时，所述方法改造成本低，不破坏热场原有加热结构，对热场部件不存在破坏性伤害，在适当生产需求下还可将热场直接改成G5小尺寸硅锭热场，使用方便。

主权项

一种铸造大尺寸硅锭的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）对G5铸锭炉的热场进行改造，改造后的热场符合安装G6铸锭炉底板、侧板和坩埚的要求，然后在热场内安装G6铸锭炉底板、侧板以及坩埚；（2）加热：将硅料装在坩埚内，将加热器的功率缓慢提升，加热硅料至完全熔融状态，当顶部测温点温度达到1150℃±20℃时跳转至熔化阶段；（3）熔化：加热器功率自动调整，将铸锭炉顶部测温点的温度逐步提升至1540℃±20℃，使坩埚底部硅液开始准备结晶；（4）结晶：将百叶窗逐步打开至最大开度90°，保持稳定的硅液结晶速率，自动调整铸锭炉的功率，并逐步将顶部测温点的温度降低至1355℃±20℃；（5）退火：关闭百叶窗，首先自动调整功率逐步将顶部测温点的温度降至1330℃±20℃，然后将铸锭炉的功率设定到20%，自动调整热场的温度；（6）冷却：关闭炉体内的加热器并逐步打开百叶窗至最大开度90°，将硅锭进行冷却。