[发明专利]半导体气体传感器有效
| 申请号： | 201310677656.2 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103698359A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张克栋;徐红艳;崔铮 | 申请（专利权）人： | 苏州纳格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种半导体气体传感器，包括：基底，所述基底具有表面；设置在所述表面的加热电极、以及位于所述加热电极形成的热场中的信号感测电极，所述加热电极和所述信号感测电极彼此绝缘，所述加热电极包括邻近所述信号感测电极主加热部以及相对远离所述信号感测电极的次加热部；其中，所述主加热部的电阻大于所述次加热部的电阻。本发明提供的半导体气体传感器通过将加热电极中邻近信号感测电极的主加热部设置为相对远离信号感测电极的次加热部具有更大的电阻，保证了加热电极产生的热量的更有效利用，降低了表面功耗损失，进而降低了传感器功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种半导体气体传感器，其特征在于，包括：基底，所述基底具有表面；设置在所述表面的加热电极、以及位于所述加热电极形成的热场中的信号感测电极，所述加热电极和所述信号感测电极彼此绝缘，所述加热电极包括邻近所述信号感测电极主加热部以及相对远离所述信号感测电极的次加热部；其中，所述主加热部的电阻大于所述次加热部的电阻。
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