[发明专利]一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置有效

专利信息
申请号: 201310678781.5 申请日: 2013-12-14
公开(公告)号: CN103727548A 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 彭寿;单传丽;甘治平;王东;石丽芬;金良茂;张家林 申请(专利权)人: 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06;F23J15/02
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233010 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置,包括通过管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)、高温静电除尘装置(3)、洗涤塔(4)、重力脱水装置(5)与引风机(6);通过各个废气处理装置的有序配合,处理高温、酸性、含尘、含氟的镀膜废气;洗涤塔(4)废液出口及重力脱水装置(5)出水口还连通有回水池(9),回水池(9)通过抽液泵(13)与冷却塔(14)与供液池(8)构成循环通路,使洗涤塔(4)中未反应完全的碱液循环利用,反应完全后的废液经泥浆泵(15)抽至压滤机(16),通过压滤机(16)的固液分离,使滤液进入废水池(10)后再经废水泵(17)喷入焚烧炉(2)燃烧处理,滤渣可回收利用,从而实现了在镀膜废气处理过程中产生废水的循环净化,达到无污染排放的目的。
搜索关键词: 一种 apcvd 在线 辐射 镀膜 废气 处理 装置
【主权项】:
一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置,包括通过连接管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)与洗涤塔(4),以及通过管道依次连通的自动加药装置(11)、供液池(8)与碱液泵(7),碱液泵(7)的出口与洗涤塔(4)的顶部相连通,其特征在于,所述焚烧炉(2)的出气口与洗涤塔(4)的入气口之间连接有高温静电除尘装置(3),所述洗涤塔(4)的出气口连接有重力脱水装置(5),重力脱水装置(5)的出气口连接有引风机(6);所述各装置之间通过连接管道相连保证废气的有序流动。
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