[发明专利]粘合带切断方法和粘合带切断装置

摘要

本发明提供一种粘合带切断方法和粘合带切断装置。一边保留以覆盖被形成在晶圆（W）上的凹口部分的方式粘贴于该晶圆（W）的带状的粘合带的该凹口部分，一边使设于第1切断机构的刀具沿着工件外径切断该粘合带。一边将被切下了晶圆形状的部分后的粘合带剥离一边将该粘合带卷取回收，之后，将粘贴有粘合带的晶圆输送到第2切断机构。第2切断机构利用与凹口相同形状的刀具切下凹口部分的粘合带。

主权项

一种粘合带切断方法，将粘贴在工件的整个面上的粘合带切断，其中，上述粘合带切断方法包括以下工序：第1切断工序，在该第1切断工序中，一边保留以覆盖被形成在上述工件上的凹口的方式粘贴于上述工件的粘合带的该凹口部分，一边使设于第1切断机构的第1切断刀具沿着工件外径切断该粘合带；第2切断工序，在该第2切断工序中，利用具有与上述凹口相同的形状的第2切断刀具的第2切断机构来切下上述凹口部分的粘合带；以及带回收工序，在该带回收工序中，将被切下了上述工件形状的部分后的粘合带回收。