[发明专利]图像传感器的晶圆级测试系统及方法

摘要

本发明涉及一种图像传感器的晶圆级测试系统及方法，所述测试系统包括：光源单元，其竖直方向设置，提供竖直向上方向的光源；承载装置，其设置于所述光源单元的上部；所述承载装置对应于光源单元的中部区域设置有透明的透光承载件；测试晶圆，其设置于透光承载件上；所述测试晶圆的感光面朝向透光承载件；所述测试晶圆上包含有多个晶粒，每个晶粒对应于所述感光面的反面包含有多个焊球点；测试针卡装置，其对应设置于所述测试晶圆的上部；所述测试针卡装置包含有对应于所述焊球点的至少两个测试针；所述测试晶圆设置于所述光源单元与所述测试针卡装置之间。本发明能够减少单个产品的重复操作，能够得到完整的最终的测试结果，并且提高测试的效率。

主权项

一种图像传感器的晶圆级测试系统，所述测试系统包括：光源单元，所述光源单元竖直方向设置并且提供竖直向上方向的光源，所述光源能够沿着竖直方向移动；承载装置，其设置于所述光源单元的上部；所述承载装置对应于光源单元的中部区域设置有透明的透光承载件，所述承载装置能够沿竖直方向移动和沿水平方向移动；测试晶圆，其设置于所述透光承载件上；所述测试晶圆的感光面朝向所述透光承载件；所述测试晶圆上包含有多个晶粒，每个晶粒的对应于所述感光面的反面包含有多个焊球点；测试针卡装置，其对应设置于所述测试晶圆的上部；所述测试针卡装置包含有对应于所述焊球点的至少两个测试针；所述测试晶圆设置于所述光源单元与所述测试针卡装置之间，所述测试针卡装置能够沿竖直方向移动；其中，所述晶圆级测试系统能够在第一状态和第二状态之间进行转换；在第一状态，所述光源单元提供光源，通过所述光源单元沿竖直方向向上靠近所述承载装置，或所述承载装置沿竖直方向向下靠近所述光源单元，以及所述测试针卡装置对应于所述光源单元沿竖直向下靠近所述测试晶圆使所述光源单元和测试针卡装置匹配固定所述测试晶圆，从而使所述测试针接触所述对应的焊球点以进行规则化测试；以及在第二状态，通过所述光源单元与所述测试针卡装置分别沿竖直方向离开测试晶圆，所述承载件装置沿水平方向移动使所述光源单元与所述测试针卡装置对应于测试晶圆的另一位置；或通过所述承载装置与所述测试针卡装置分别沿竖直方向离开所述光源单元，所述承载装置沿水平方向移动使所述光源单元与所述测试针卡装置对应于测试晶圆的另一个位置。