[发明专利]一种高分辨透射电镜用薄膜样品的制备方法

摘要

本发明属于一种用离子减薄仪加工高分辨透射电镜用薄膜样品的制备方法。其特征在于：通过对粘的方式将特殊样品上的被观察位置置于对粘试样的中部，配以合理的离子减薄工艺，制备成高分辨透射电镜用薄膜样品，实现对特殊样品组织结构的高分辨透射电镜观察。本发明提供的特殊样品的高分辨透射电镜用薄膜样品的制备方法的优点在于：实现了特殊样品（如表面变质层样品、裂纹尖端样品）的高分辨透射电镜用薄膜样品的制备，制样快、节省费用、成功率高且简单易行。

主权项

一种高分辨透射电镜用薄膜样品的制备方法，其特征在于：1)在包含被观察位置的样品上切取块状试样，块状试样的尺寸为：长：0.5～2.2mm，宽：0.5～1mm：厚：0.2～0.5mm，同时将被观察位置置于块状试样由长和厚构成的表面的中心位置附近；2)在块状试样由长和厚构成的表面上对粘一块与块状试样同种材料且尺寸相对应的配料，形成对粘试样；3)将对粘试样厚度方向的两个表面均匀打磨，最后用1000#砂纸磨至20～30μm，形成对粘薄片；4)将对粘薄片粘在单孔环形载网上；5)将粘有对粘薄片的单孔环形载网放在离子减薄仪上减薄至穿孔，离子减薄工艺参数为：1)离子束电压5kV，离子束相对于对粘薄片的倾斜角为10°，减薄时间为30～100min；2)离子束电压4kV，离子束相对于对粘薄片的倾斜角为8°，减薄时间为15～40min；3)离子束电压3kV，离子束相对于对粘薄片的倾斜角为5°，减薄时间为8～30min；4)离子束电压2kV，离子束相对于对粘薄片的倾斜角为3°，减薄时间5～20min；5)离子束电压1kV，离子束相对于对粘薄片的倾斜角为2°，减薄至穿孔制成薄膜样品。