[发明专利]振子、振荡器、电子设备、移动体和振子的制造方法在审
| 申请号： | 201310684125.6 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103905009A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾;山田明法;矢岛有继 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振子、振荡器、电子设备、移动体和振子的制造方法。振动效率更高且抑制了振动泄漏。MEMS振子（100）具有：基板（1）；固定部（23），其设置在基板（1）的主面上；支承部（25），其从固定部（23）延伸；振动体（上部电极（20）），支承部（25）使该振动体与基板（1）分离，并支承该振动体的振动的波节部，振动体是具有从振动的波节部辐射状地延伸出的2n个梁的2n重对称的旋转对称体，其中，n为自然数。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡器 电子设备 移动 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种振子，其特征在于，该振子具有：基板；固定部，其设置在所述基板的主面上；从所述固定部延伸出的支承部；以及振动体，所述支承部使该振动体与所述基板分离，并支承该振动体的振动的波节部，所述振动体是具有从所述振动的波节部延伸的2n个梁的2n重对称的旋转对称体，其中，n为自然数。
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