[发明专利]离子源有效
| 申请号： | 201310685061.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN104051209A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·N·霍斯奇;萨米·K·哈托 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/075 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;谢丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及离子源。提供了一种离子源，其包括至少一个电子枪。电子枪包括用于生成电子束的电子源和用于接收气体的入口。电子枪还包括至少由阳极和接地元件限定的等离子体区域，其中，等离子体区域能够从经由入口接收的气体形成等离子体。等离子体能够由电子束的至少一部分所维持。电子枪进一步包括用于输送以下至少之一的出口：（i）由等离子体生成的离子或（ii）由电子源生成的电子束的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
一种离子源，包括：至少一个电子枪，所述电子枪包括：电子源，用于生成电子束；入口，用于接收气体；等离子体区域，至少由阳极和接地元件限定，所述等离子体区域适合于从经由所述入口接收的所述气体形成等离子体，其中，所述等离子体由所述电子束的至少一部分来维持；以及出口，用于输送以下至少之一：（i）由所述等离子体生成的离子或（ii）所述电子束的至少一部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日新离子机器株式会社，未经日新离子机器株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310685061.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
