[发明专利]一种离子注入机竖直方向离子束角度测控系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种离子注入机竖直方向离子束角度测控系统及测量方法，测控系统包括法拉第筒，所述法拉第筒与固定杆一端固定连接，所述固定杆另一端与一根垂直于所述固定杆的连接杆固定连接，所述连接杆与能带动所述连接杆轴向转动的传动装置连接；所述传动装置与驱动电机的输出轴连接；所述固定杆与连接杆连接处安装有用于测量所述固定杆与水平面夹角的旋转编码器；所述驱动电机、旋转编码器均与运动控制器电连接；所述运动控制器通过束流实时测量控制器与所述法拉第筒电连接。本发明的测控系统结构简单，测量可靠；本发明的方法能精确检测离子注入机的离子束在竖直面的束角度，从而保证注入工件的离子束注入角度精确可测可控。

主权项

一种离子注入机竖直方向离子束角度测控系统，包括用于采集离子束流（1）的法拉第筒（2），其特征在于，所述法拉第筒（2）与固定杆（8）一端固定连接，所述固定杆（8）另一端与一根垂直于所述固定杆（8）的连接杆（9）固定连接，所述连接杆（9）与能带动所述连接杆（9）绕所述连接杆（9）轴线转动的传动装置（3）连接；所述传动装置（3）与驱动电机（4）的输出轴连接；所述固定杆（8）与连接杆（9）连接处安装有用于测量所述固定杆（8）与水平面夹角的旋转编码器（5）；所述驱动电机（4）、旋转编码器（5）均与运动控制器（6）电连接；所述运动控制器（6）与用于采集法拉第筒（2）捕获的离子束流的束流实时测量控制器（7）电连接。