[发明专利]匀胶机托盘结构有效
| 申请号： | 201310686050.5 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103691632A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 花国然;王强;朱海峰;徐影;邓洁 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 李涛 |
| 地址： | 226019 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种匀胶机托盘结构，包括：硅片承片台和真空吸片结构，所述硅片承片台的顶端有一硅片承载平面，沿着所述硅片承载平面的中心向内开设有一储胶槽，并且所述储胶槽的槽壁为向内凹进的圆弧形，在所述储胶槽的中间还设有一圆台形的凸台；所述真空吸片结构包括：上端和真空吸片口，并且所述真空吸片口与所述硅片承载平面间的垂直距离大于3mm。通过上述方式，本发明能够有效地阻挡光刻胶被吸入真空吸片口内，避免了真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞；同时具有大容量储胶槽，能够储存较多被甩出的光刻胶，并防止流入储胶槽内的光刻胶再次被甩出，避免了对匀胶台的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 匀胶机 托盘 结构 | ||
【主权项】：
一种匀胶机托盘结构，包括：硅片承片台和真空吸片结构，其特征在于，所述硅片承片台的顶端有一硅片承载平面，所述硅片承载平面为一圆形水平面，沿着所述硅片承载平面的中心向内开设有一储胶槽，并且所述储胶槽的槽壁为向内凹进的圆弧形，在所述储胶槽的中间还设有一圆台形的凸台；所述真空吸片结构包括：上端和真空吸片口，所述上端位于所述凸台内，所述真空吸片口位于所述上端的顶部，并且所述真空吸片口与所述硅片承载平面间的垂直距离大于3mm。
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