[发明专利]靶材缝隙清洁装置和方法在审
| 申请号： | 201310686918.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103639153A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邢宏伟;穆慧慧;吴斌;张鹤群 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材缝隙清洁装置和方法，涉及半导体制造领域，能够避免缝隙清洁过程中粉尘的散落。该靶材缝隙清洁装置，包括：靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。该靶材缝隙清洁方法，包括：向靶材正面的缝隙吹气；向靶材第一侧面的缝隙吹气；从靶材第二侧面的缝隙吸取粉尘，所述第一侧面为与所述第二侧面相对的面。 | ||
| 搜索关键词： | 缝隙 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材缝隙清洁装置，其特征在于，包括：靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。
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