[发明专利]一种利用折叠谐振腔产生三倍频紫外激光方法

摘要

本发明公开了一种利用折叠形谐振腔产生三倍频紫外激光的方法，激光二极管侧面泵浦激光晶体，产生受激辐射，在腔内形成基频光振荡，Q开关使基频光变成脉冲光，提高基频光功率密度，然后基频光通过二倍频晶体产生二次谐波，剩余的基频光和产生的二次谐波在和频晶体作用下产生紫外激光，通过输出镜输出腔外；在折叠形谐振腔外使用一个紫外反射镜将一个方向的紫外出射光反射回谐振腔内继续振荡，使紫外光只在一个方向输出，减少了紫外光的损失。该折叠形谐振腔采用腔内倍频、和频方法，利用腔内高功率密度，大的模体积提高紫外激光转换效率。

主权项

一种产生三倍频紫外激光的折叠谐振腔，其特征在于：该折叠形谐振腔包括全反镜a（1）、Q开关（2）、激光二极管泵浦模块（3）、输出镜（4）、和频晶体（5）、全反镜b（6）、二倍频晶体（7）、全反镜c（8）、紫外反射镜a（9）、分光元件（10）、紫外反射镜b（11）；谐振腔内分为三个臂，第一个臂包含Q开关（2）、激光二极管泵浦模块（3），第二个臂包含和频晶体（5），第三个臂包含二倍频晶体（7）；谐振腔内的光学元件包括全反镜a（1）、输出镜（4）、全反镜b（6）、全反镜c（8）；谐振腔外的光学元件包括紫外反射镜a（9）、分光元件（10）、紫外反射镜b（11）；整个谐振腔结构形状为折叠形，其中第一个臂和第二个臂的节点为输出镜（4），第二个臂和第三个臂的节点为全反镜b（6）；第一个臂依次放置全反镜a（1）、Q开关（2）、激光二极管泵浦模块（3）、输出镜（4），谐振腔外的光学元件紫外反射镜a（9）在第一个臂输出镜（4）之后，即第一个臂延长线上；第二个臂依次放置和频晶体（5）、全反镜b（6），谐振腔外的光学元件分光元件（10）置于全反镜b（6）、和频晶体（5）、输出镜（4）的延长线上，即在第二个臂的延长线上；第三个臂上依次放置二倍频晶体（7）、全反镜c（8）；谐振腔外的紫外反射镜b（11）置于分光元件（10）的垂直线上，通过两者的反射作用以保证紫外激光呈水平输出。