[发明专利]一种真空镀膜生产线用管道耦合装置在审
申请号: | 201310690250.8 | 申请日: | 2013-12-16 |
公开(公告)号: | CN104711518A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411101 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空镀膜生产线用管道耦合装置,包括上耦合件和下耦合件,上下耦合件活动连接并密封,上下耦合件分别固定连接同一管道;上下耦合件耦合密封时,管道连通;上下耦合件分离时,管道断开。通过气缸推动耦合法兰上下移动,使得耦合法兰与上固定法兰自动耦合或脱离,以此带动金属波纹管道自动开合;脱离后的管道能自由水平移动,在移动时并能与管道所在平面保持相对静止,避免了管道的刮损;在开合处的管道口设置有过滤网,能避免杂物滑落堵塞通道,因此,本发明具有广阔的市场应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 生产线 管道 耦合 装置 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜生产线用管道耦合装置,其特征在于,包括:一上耦合件和一下耦合件,所述上下耦合件活动连接并密封,所述上下耦合件分别固定连接同一管道;所述上下耦合件耦合密封时,管道连通;所述上下耦合件分离时,管道断开。
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