[发明专利]一种真空紫外激光发生装置在审
| 申请号： | 201310690979.5 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN104716557A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 王利;刘本康;高丹丹;王艳秋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01S3/108 | 分类号： | H01S3/108;H01S3/02;H01J49/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空紫外激光发生装置，包括入射窗口、非线性作用主体、偏转电极以及出射窗口。其中，入射窗口、非线性作用主体和出射窗口同轴的依次装配在一起，偏转电极安装在激光作用主体内部。具体而言，可见波段激光在非线性作用主体内部与气体介质相互作用，产生处于真空紫外波段的三倍频光。偏转电极的加入设计可以明显的提高真空紫外激光产生的稳定性。在降低气体介质使用成本的同时，也可以很大程度上提高真空紫外激光的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 紫外 激光 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种真空紫外激光发生装置，其特征在于，包括：入射窗口（1）、非线性作用主体（2）、偏转电极（4）以及出射窗口（3）；其中，入射窗口（1）、非线性作用主体（2）和出射窗口（3）依次平行并且同轴的组装在一起，通过O圈密封；偏转电极（4）安装在非线性主体（2）内部，并且与非线性主体（2）同轴；所述入射窗口（1）用于通过处于可见波段的激光；所述非线性作用主体（2）为真空紫外激光产生的区域；所述出射窗口（3）用于通过产生的真空紫外激光；所述偏转电极（4）用于清理非线性作用主体（2）产生真空紫外激光过程中离化的气体介质。
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