[发明专利]一种石墨烯图形化掺杂方法有效
| 申请号： | 201310692748.8 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103710759A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 叶冬;于尧;吴跃;柳林 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C30B31/20 | 分类号： | C30B31/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯图形化掺杂方法，包括如下步骤：（1）将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中，施加高压脉冲电压，在工作气体中放电产生室温常压等离子体，将形成的等离子体由引导管的喷嘴导出，形成微等离子体射流；（2）将喷嘴对准石墨烯薄膜的指定位置，用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照，将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域，在二维平面内移动微等离子体射流或石墨烯薄膜，实现对石墨烯的图形化掺杂。该方法可有效地将杂质原子掺入到石墨烯的骨架位置上，且不会对石墨烯的原本结构产生破坏，掺杂过程简单易行，设备成本低廉，可实现大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 图形 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯图形化掺杂方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将氦气与掺杂气体混合作为工作气体导入等离子体发生装置中，施加高压脉冲电压，在工作气体中放电产生室温常压等离子体，将形成的等离子体由引导管的喷嘴导出，形成微等离子体射流；（2）将所述喷嘴对准石墨烯薄膜的指定位置，用微等离子体射流对石墨烯薄膜进行辐照，将工作气体的活性原子掺入到被辐照的区域，在二维平面内移动微等离子体射流或石墨烯薄膜，实现对石墨烯的图形化掺杂。
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