[发明专利]一种硅微静电悬浮加速度计有效
| 申请号： | 201310692808.6 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103675350A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 马高印;韩丰田;张龙;游鹏程;严小军 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100854 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种硅微静电悬浮加速度计，涉及MEMS微惯性器件及仪表。它包括测控系统、金属基座和表头；所述测控系统由垂直堆栈的四层电路组成；所述四层电路依次包括数字控制板、模数数模接口板、主体检测板和前置检测板；所述表头焊接于前置检测板上；金属基座上有安装孔和安装凸台；所述数字控制板、模数数模接口板和主体检测板依次连接并固定于金属基座的安装孔上；前置检测板固定于金属基座的安装凸台上。本发明分辨率高、安装误差的稳定性好，具有局部温控功能而且结构紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 悬浮 加速度计 | ||
【主权项】：
一种硅微静电悬浮加速度计，其特征在于：包括测控系统、金属基座（14）和表头；所述测控系统由垂直堆栈的四层电路组成；所述四层电路依次包括依次柔性连接的数字控制板（23）、模数数模接口板（22）、主体检测板（21）和前置检测板（16）；所述模数数模接口板（22）还与前置检测板（16）柔性连接；所述表头焊接于前置检测板（16）上；金属基座（14）上有安装孔（27）和安装凸台（26）；所述数字控制板（23）、模数数模接口板（22）和主体检测板（21）依次连接并固定于金属基座（14）的安装孔（27）上；前置检测板（16）固定于金属基座（14）的安装凸台（26）上。
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