[发明专利]一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺

摘要

本发明公开了一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺，通过优化PECVD工艺参数，保持与常规工艺相同的折射率和膜厚基础上降低电池表面反射率和增强钝化效果，从而达到提升电池Voc、Isc、FF，即提升Eta的目的。本发明的优点在于只需调整参数，无需增加任何设备和任何工艺步骤和不增加成本，提升转换效率0.14%。

主权项

一种基于双层膜多晶太阳能电池PECVD钝化镀膜的工艺，其特征为：采用PECVD镀膜设备，第一层膜采用的NH3与SiH4流量比为3.0:750，功率5650w，时间为160s；第二层膜采用的NH3与SiH4流量比为7.6:600，功率5650w，时间为500‑620s。