[发明专利]一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法

摘要

本发明公开了一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法，通过改变氮气流量和压力来改善扩散均匀性，有效地控制其炉管内部气氛场状态及掺杂气体流动速度，从而达到扩散工艺的稳定性及重复性，使得整管均匀性及单片均匀性都得到一定改善，从而电性能得到一定改善。

主权项

一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法，其特征为：使用的硅片是电阻率为1‑3ohm.cm的156mm╳156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后具体步骤如下：1)、准备阶段；2）、进舟阶段；3）、出舟阶段；4）、检漏阶段；5）、加热阶段；6）、预氧化阶段；7）、扩散阶段；8）、后氧化阶段；9）、推进阶段；10）、扩散阶段；11）、推进阶段；12）、冷却阶段；13）、进舟阶段；14）、出舟阶段。